O-ring FFKM 78 Kalrez® 9300 - Schnurdicke 5 bis 5,5 mm

Anwendung

Temperatureigenschaften:
Kalrez 9300 kann bis zu einer Temperatur von +300°C verwendet werden.

Eigenschaften:
• Geringe Erosionsrate und extrem niedrige Teilchenerzeugung in ionen-/radikaldominanten Sauerstoff- und Fluorplasmen
• hervorragende Beständigkeit gegenüber chemischen Ätzverfahren
• sehr geringer Anteil extrahierbarer metallischer Partikel
• ausgezeichnete thermische Stabilität
• sehr gute mechanische Festigkeit

Empfohlene Anwendungen:
• für dielektrische Ätzanwendungen in der Halbleiterindustrie
• Dichtungen für Gaseinlässe und Gasdüsen
• Kammerdichtungen
• Dichtungen für Absperrventile
• Schieber / Türdichtungen
Empfohlen in: Halbleiter, Hightech und Optik